1.一天能生产几万到十几万片,不同的光刻机厂家生产效率是有差异的。2.目前国内主流光刻机厂商,主要包括:上海微电子装备、南大光电、上海微电子、北方微电子、华工科技、中微半导体、长江存储、上海华虹、中芯国际、北京君正等,每个公司都有自己的光刻机型号。3.光刻机的制造成本很高,因此只有在一些关键领域才会使用。
4.例如光刻机用于生产5nm 以下的芯片,而目前最先进的7nm 芯片还需要采用 EUV 光刻机。
5.另外,随着光刻机的研发和应用,国内光刻机也取得了重大突破。